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表面処理装置コンベア型光洗浄改質装置

名称コンベア型表面処理装置
型式PM1103C-8
概要185nmと254nmの光エネルギーでナノレベルの有機物の汚れを除去
用途・各種基板材料の前処理
・各種表面のぬれ性改善
特長・コンベアタイプなので均一照射が可能です。
・コンベア速度は0.1~1m/minまで対応しています