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米国のメイマン博士が1960年5月16日にGE(General Electric)のヒューズ研究所で、世界ではじめてレーザー装置を発明したわずか5年後の1965年に、弊社は大阪においてレーザー製品を開発製造する目的で創業いたしました。しかし世紀の大発明であるレーザーの市場が5年程度で育つはずもなく、数台のヘリウムネオンレーザーと1台のアルゴンレーザーの製造にとどまり、レーザービジネスは頓挫しました。
当時のマーケットでは電気回路の半導体化が進み、シリコンウエハーの洗浄に使用する純水の殺菌をする高性能の紫外線殺菌光源が求められるようになりました。過去にレーザー放電管を作る経験をした弊社は、半導体業界が必要とする高性能の紫外線ランプ開発に挑戦し、1973年に開発に成功しました。それが現在の弊社のコア技術である紫外線技術と出会うきっかけになりました。つぎに生まれた紫外線市場は、集積度が高まり歩留まりを向上させることに大変苦労していた液晶テレビの市場です。液晶テレビはアメリカ生まれですが、わが国が世界ではじめて製品化に成功した製品です。短波長紫外線はガラス面板を直接高度にクリーンにできる技術であることが証明されたので、液晶テレビの製造業界でさっそく採用されました。
紫外線にはドライ洗浄以外に、プラスチックや金属の接着力を向上させる改質効果があります。強力な薬剤を使う改質技術の中で、紫外線は唯一表面の平滑性を損なわない特長があるので、高集積微細化が進むIT製品の製造工程に最適です。大容量記憶装置(HDD)におけるディスク表面の潤滑剤の塗布強化に独占的に使われており、半導体基板パッケージの工程でも紫外線技術は生かされています。 水処理の分野では、紫外線は100年の歴史がありますが、紫外線と酸化剤を併用すれば、有機性の汚染物を処理することができます。これからの先進技術として、紫外線促進酸化水処理と呼ばれ高く期待されています。弊社は紫外線光源となるランプを内製しているので、紫外線装置を製作するうえで、優位性と可能性を秘めています。

セン特殊光源株式会社
代表取締役菊池 清