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表面処理装置卓上型エキシマ装置

名称卓上型表面処理装置
型式XPL1504
概要172nmの光エネルギーでナノレベルの有機物の汚れを除去
用途・光学系ガラス、基板などの表面洗浄
・難接着性プラスチックの接着改善
特長・手軽に172nmの照射が行えます。
・ランプは1~4本まで搭載可能です