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表面処理装置ＵＶ洗浄改質装置【スキャナー式】

名称	ＵＶ洗浄改質装置（スキャナー式）
概要	185nmや254nmのＵＶエネルギーでワーク表面の汚れを除去する装置です。スキャナー式なので均一にＵＶ照射することができます。
用途	ガラスなど素材表面を洗浄
特長	スキャナー式なのでコンベ式と同等に均一にUV照射することが出来ます。設置スペースもコンパクトです。