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表面処理装置真空式洗浄装置

名称真空式光表面処理装置
型式PL1-1107A
概要185nmや254nmを真空状態で照射処理する装置です。
用途・レンズ、プリズムの洗浄、改質
・各種基板材料の前処理
特徴・真空度は、0~0.001Torr
・照射サイズが300×400mmなので生産機としてご使用いただけます。